中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准

指标\级别

EW－Ⅰ

EW－Ⅱ

EW－Ⅲ

EW-Ⅳ

电阻率MΩ，cm(25℃)

18以上，（95％时间）不低于17

15，（95％时间）不低于13

12.0

0.5

全硅，zui大值,μg/L

2

10

50

1000

＞1μm微粒数，zui大值，个/mL

0.1

5

10

500

细菌个数，zui大值，个/mL

0.01

0.1

10

100

铜，zui大值，μg/L

0.2

1

2

500

锌，zui大值，μg/L

0.2

1

5

500

镍，zui大值，μg/L

0.1

1

2

500

钠，zui大值，μg/L

0.5

2

5

1000

钾，zui大值，μg/L

0.5

2

5

500

氯，zui大值，μg/L

1

1

10

1000

硝酸根，zui大值，μg/L

1

1

5

500

磷酸根，zui大值，μg/L

1

1

5

500

硫酸根，zui大值，μg/L

1

1

5

500

总有机酸，zui大值，μg/L

20

100

200

1000